SMC推出了一款平行密封型門閥XGTP系列。產(chǎn)品采用平行密封結(jié)構(gòu)，可對應(yīng)300mm晶圓。適用于半導體裝置的真空工藝腔室與傳輸腔室之間的密封。
???◇ 長壽命：300萬次（常溫時）
???◇ 低發(fā)塵：發(fā)塵量減少到1/5以下（與舊型號相比）
???◇ 省氣：耗氣量減少22%
???◇ 輕量：14kg（盒式）
???◇ 工作窗尺寸：50mm X 336mm
▼門上升、下降的直線動作和門開閉的夾緊采用平行密封（L motion）構(gòu)造，降低了摩擦系數(shù)，可大幅減少發(fā)塵量并延長使用壽命。
▼半導體加工過程中，針對各工藝腔室之間的隔離。
上海維特銳實業(yè)發(fā)展有限公司主營進口品牌氣動液壓儀器儀表類產(chǎn)品，如需詳細了解請點擊：SMC系列產(chǎn)品
上海維特銳實業(yè)發(fā)展有限公司
地址：上海普陀區(qū)中江路889號1501-1504
主營產(chǎn)品：KRACHT克拉克，寶德，賀德克，美國MAC，ATOS阿托斯，威格士，CKD，SMC
版權(quán)所有：上海維特銳實業(yè)發(fā)展有限公司 備案號：滬ICP備13015955號-23 總訪問量：786936 站點地圖 技術(shù)支持：化工儀器網(wǎng) 管理登陸
